MEMS开关装置、阵列基板及其制作方法和显示装置

摘要

本发明公开了一种MEMS开关装置、阵列基板及其制作方法、显示装置和MEMS开关装置的驱动方法，显示装置可以在透射模式、反射模式和半透半反模式灵活切换，以满足不同场景的显示需求。MEMS开关装置包括光阀元件和开关元件，光阀元件包括：垂直于光透射方向的第一感应电极；平行于光透射方向的第二感应电极；覆盖于第一感应电极和第二感应电极，并将第一感应电极和第二感应电极绝缘隔离的绝缘层；位于第一感应电极和第二感应电极交汇处的锚定部；与锚定部连接的移动光栅，移动光栅可在与第二感应电极具有夹角时反射环境光或前置光源发出的光；当对光阀元件施加电场电压时，光阀元件工作于透射模式、反射模式或半透半反模式。

主权项

一种MEMS开关装置，其特征在于，包括光阀元件和开关元件，其中：所述光阀元件包括：垂直于光透射方向的第一感应电极；平行于光透射方向的第二感应电极；覆盖于所述第一感应电极和第二感应电极，并将所述第一感应电极和第二感应电极绝缘隔离的绝缘层；位于所述第一感应电极和第二感应电极交汇处的锚定部；与所述锚定部连接的移动光栅，所述移动光栅可在与第二感应电极具有夹角时反射环境光或前置光源发出的光；当系统电路通过所述开关元件对所述光阀元件施加电场电压时，所述光阀元件工作于透射模式、反射模式或半透半反模式。