一种超声波触觉反馈系统及其制造方法

摘要

本发明公开了一种基于电容式超声传感器的超声波触觉反馈系统，包括电容式超声传感器阵列、控制电路、驱动电路、计算机等部分。计算机控制超声发射信号加载到电容式超声传感器阵列单元上，使传感器各个单元在空间中产生多种幅度和相位的超声波辐射场，相互作用之后形成若干个声聚焦点构成所设定的虚拟物体形状，此时仪器将超声波投射到手上时，人便可以感受到它，从而实现触觉反馈功能。本系统采用了电容式超声传感器阵列作为系统的超声波发射器件，与传统的压电式超声传感器相比，易于与驱动电路、控制电路集成，降低了系统损耗、提高了信噪比，并且极大的减小了器件的尺寸，为超声波触觉反馈功能集成到芯片上提供了可能，制作更为容易，成本更低，适合批量生产。

主权项

一种超声波触觉反馈系统，包括超声传感器阵列、控制电路、驱动电路，所述控制电路和驱动电路共同控制所述超声传感器阵列所发射的超声波的相位和/或幅值，其特征在于，所述超声传感器阵列为电容式超声传感器阵列。