砷化镓电池的激光加工方法

摘要

本发明适用于砷化镓电池加工领域，提供了一种砷化镓电池的激光加工方法，通过对砷化镓晶片进行切割形成多个砷化镓电池，首先采用紫外激光对所述GaAs层进行加工，形成多个隔离槽；其次采用紫外激光延所述隔离槽至少一次对所述金属衬底加工，直到将所述金属衬底切断，产生多个子电池。本实施例通过紫外激光分两步对砷化镓晶片进行切割，首先形成宽度较小的隔离槽，再延隔离槽进行加工，最终形成多个芯片，由于降低了隔离槽的宽度，增加了单枚晶片生产子电池的数量，降低了生产成本，同时，采用紫外激光进行加工，避免了热效应对芯片的影响，提高了良品率。

主权项

一种砷化镓电池的激光加工方法，通过对砷化镓晶片进行切割形成砷化镓电池，其特征在于，采用紫外激光对所述GaAs层进行加工，形成多个隔离槽；采用紫外激光延所述隔离槽至少一次对所述金属衬底加工，直到将所述金属衬底切断，产生多个子电池。