发明名称 |
PN结的制备方法及太阳能电池的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种PN结的制备方法及太阳能电池的制备方法。PN结的制备方法包括:步骤S1,对硅片进行制绒,得到具有绒面的硅片;步骤S2,利用卤化氢气体在750℃-1050℃的高温下对具有绒面的硅片进行清洗,得到清洗后绒面硅片;步骤S3,对清洗后绒面硅片进行磷扩散,形成太阳能电池的PN结。该方法通过在磷扩散步骤之前,利用卤化氢气体在高温条件下解离为氢离子和卤素离子对具有绒面的硅片进行清洗,然后再进行磷扩散,这样制备的PN结能有效提升硅片的钝化性能,大大提升所制备的太阳能电池的短路电流和开路电压,从而提升太阳能电池的转换效率。 |
申请公布号 |
CN104867819A |
申请公布日期 |
2015.08.26 |
申请号 |
CN201510175366.7 |
申请日期 |
2015.04.14 |
申请人 |
英利能源(中国)有限公司 |
发明人 |
马红娜 |
分类号 |
H01L21/04(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
赵囡囡;吴贵明 |
主权项 |
一种PN结的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:步骤S1,对硅片进行制绒,得到具有绒面的硅片;步骤S2,利用卤化氢气体在750~1050℃的高温下对所述具有绒面的硅片进行清洗,得到清洗后绒面硅片;步骤S3,对所述清洗后绒面硅片进行磷扩散,形成所述PN结。 |
地址 |
071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 |