碳纳米管的制造方法

摘要

本发明以提高碳纳米管的生长环境为目的。在本发明的碳纳米管的制造方法中，将碳纳米管生长工序中供给的催化剂活化物质的供给量补正为在生长工序中数次测定的气体成分浓度中选自氢、甲烷及乙烷中的至少1种以上气体成分的浓度达到最大时的催化剂活化物质的供给量。

主权项

碳纳米管的制造方法，其是使碳纳米管在表面负载有催化剂的基材上生长的方法，其中，该制造方法包括：生长工序，该工序中，向所述催化剂供给碳纳米管的原料气体及催化剂活化物质，并且对所述催化剂及所述原料气体中的至少一者进行加热，使碳纳米管在所述基材上生长；以及反馈控制工序，该工序中，对所述生长工序中的所述基材周围的气体成分的浓度进行数次测定，提取在数次测定的气体成分浓度中，选自氢、甲烷及乙烷中的至少1种以上气体成分的浓度达到最大时的所述催化剂活化物质的供给量，将所述生长工序中供给的所述催化剂活化物质的供给量补正为所提取的供给量。