摘要 |
本発明は、有機薄膜トランジスタアレイ基板の製造効率を向上させる有機薄膜トランジスタアレイ基板及びその製造方法に関する。該方法によれば、一回のパターニング工程により、基板上に画素電極のパターン層(3)、及び画素電極のパターン層(3)の上方に位置するソース電極とデータラインのパターン層(2a)及びドレイン電極のパターン層(2b)を形成し、一回のパターニング工程により、ソース電極とデータラインのパターン層(2a)及びドレイン電極のパターン層(2b)上を覆う有機半導体層(4)、及び有機半導体層上を覆うゲート絶縁層(5)を形成し、一回のパターニング工程により、ゲート絶縁層(5)を形成している基板上に、ゲート電極とゲートラインのパターン層(7)を形成する。 |