发明名称 有機薄膜トランジスタアレイ基板及びその製造方法、並びに表示装置
摘要 本発明は、有機薄膜トランジスタアレイ基板の製造効率を向上させる有機薄膜トランジスタアレイ基板及びその製造方法に関する。該方法によれば、一回のパターニング工程により、基板上に画素電極のパターン層(3)、及び画素電極のパターン層(3)の上方に位置するソース電極とデータラインのパターン層(2a)及びドレイン電極のパターン層(2b)を形成し、一回のパターニング工程により、ソース電極とデータラインのパターン層(2a)及びドレイン電極のパターン層(2b)上を覆う有機半導体層(4)、及び有機半導体層上を覆うゲート絶縁層(5)を形成し、一回のパターニング工程により、ゲート絶縁層(5)を形成している基板上に、ゲート電極とゲートラインのパターン層(7)を形成する。
申请公布号 JP2015524615(A) 申请公布日期 2015.08.24
申请号 JP20150523368 申请日期 2012.12.14
申请人 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 发明人 ▲張▼ 学▲輝▼
分类号 H01L21/336;G02F1/1368;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/40 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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