| 摘要 |
<p>【課題】グラファイト薄膜の炭素炭素結合による骨格を良好に維持しつつ、窒素原子の含有量が高くなりすぎるのも抑制可能なグラファイト薄膜の製造方法を提供すること。【解決手段】炭素原子３と窒素原子４と金属原子５とを含む薄膜Ａ（符号７）を基板１上に形成した後、熱処理により、基板１上に窒素原子を含有するグラファイト薄膜９を形成することを特徴とするグラファイト薄膜の製造方法。薄膜Ａを形成する方法としては、例えば、（ａ）不活性ガス、（ｂ）炭素含有分子を含むガス、及び、（ｃ）窒素含有分子を含むガスを有する雰囲気中で、前記金属をスパッタする方法が挙げられる。【選択図】図１</p> |
