角度分解反射率測定における走査および回折の光計測からのアルゴリズム的除去

摘要

コヒーレント光源と、集合瞳内の光分布の実現をもたらすために、対象パターンを、光源からのコヒーレント光のスポットを使用して走査するように配置された光学系であって、スポットが対象パターンの一部を覆い、走査が走査パターンに従って光学的にまたは機械的に行われる、光学系と、集合瞳分布の合成画像を、瞳像を結合することによって発生させるように配置された処理ユニットと、を備える、角度分解反射率計および反射率測定方法を提供する。回折誤差を、測定パラメータの、開口部サイズに対する機能的依存性を定量的に推定し、開口部サイズに関連する機能的依存性の特定された回折成分から、測定パラメータのための、計測条件に対する補正項を導出することによって低減する、計測システムおよび方法を提供する。