ANALYZING APPARATUS

摘要

본 발명의 분석 장치는 수광된 레이저를 제1 레이저와 제2 레이저로 분배시키는 광 커플러를 포함하고, 상기 제1 레이저는 제1 광 센서로 입력되며, 상기 제2 레이저는 검사 대상물이 수용되는 챔버를 통과한 후 제2 광 센서로 입력될 수 있다.