| 摘要 |
<p>波長掃引可能レーザー光源が開示され、レーザー光源はレージング波長のレーザー光を生成するように構成される半導体レーザー光源である。レーザー光源は基板と、第１の反射器と、第２の反射器とを備える。第１の反射器及び第２の反射器はともに光学キャビティを画定し、基板に垂直な方向の光学経路に沿った光学キャビティ内の光発振をサポートするように配置される。光学キャビティは光学経路内に空洞を備える。第２の反射器は第１の反射器から或る距離にサスペンションによって弾力的に取り付けられ、静止位置を有し、第２の反射器及びサスペンションはともにマイクロエレクトロメカニカルＭＥＭＳ発振器を画定する。ＭＥＭＳ発振器は或る共振周波数を有するとともに第２の反射器を静止位置の両側に発振させるように構成される。レーザー光源はＭＥＭＳ発振器に電界を印加するように構成される電気的接続を更に備える。</p> |
