| 摘要 |
<p>본 발명은 기판 건조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정조의 측벽에 유기용매를 수용할 수 있는 유기용매 수용조를 구비하여 유기용매 가스를 이송하지 않고 세정조에 바로 공급할 수 있는 기판 건조장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 기판 건조장치는 기판을 린싱하기 위한 순수가 수용되며 측벽에 개구홀이 형성된 세정조; 상기 세정조의 외측벽에 고정 설치되며, 상기 개구홀을 통해 유기용매을 공급하는 유기용매 수용조; 및 상기 세정조의 상부에 분리 또는 결합되며, 내부에 불활성가스를 분사할 수 있도록 분사노즐이 구비되는 챔버;를 포함한다.</p> |
