| 发明名称 |
具特定造型表面之定位环 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI496660 |
申请公布日期 |
2015.08.21 |
| 申请号 |
TW100125328 |
申请日期 |
2004.11.15 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
陈宏驰;努尼佳史帝文Ｍ;盖瑞森查尔斯Ｃ;道格拉斯Ｒ 麦克艾力斯特;林建;米尔史戴西;西德尼威宜Ｐ;瓯格政夫;都恩坦格Ｔ;什米特杰佛瑞;乌离特马丁Ｓ;休契斯凯瑞Ｆ;王詹姆斯Ｃ;路丹尼斯Ｃ Ｔ;蓝尼罗门宾迪;倍拉嘉尼凡克塔Ｒ;亚伦亚当马丁;方麦可琼 |
| 分类号 |
B24B37/32 |
主分类号 |
B24B37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
一种用于化学机械研磨装置的定位环，该定位环至少包括：一大致呈环状的主体，该主体具有一顶面、一内径表面、一外径表面与一底面，其中该底面包含：一个邻接该内径表面的大致水平部分，以及一个邻接该外径表面的倾斜部分，其中横跨该底面上具有介于0.001mm至0.03mm之间的高度差，以及其中位在该内径表面与该底面相接处之边缘低于位在该外径表面与该底面相接处之边缘。
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| 地址 |
美国 |
