| 主权项 |
一种基板处理装置，包括：输送舱，可在其中维持隔离氛围及可连通地连接于装料站，以将基板装卸于该基板处理装置中；输送系统，设于该输送舱之内部，以输送基板；及处理舱模组之阵列，沿着该输送舱分布及可连通地连接于该输送舱，以允许基板在其间转移；其中该输送舱系可为线状纵向长型，并具有：至少一个输送舱节点，各具有控制特征，其界定测定性位置特征，以与安装同时地去最后定位并对齐各别的输送舱节点，使该输送系统能够处理通过该至少一输送舱节点的基板，该至少一个输送舱节点的每一个系可被可连通地串联连接于该输送舱之至少另一个输送舱节点，以启动延长，及能够将该基板处理装置之至少二个舱室模组互相联系，各节点于其中具有驻留之基板输送臂，以在该输送舱节点与该至少二个舱室模组之间输送基板；及基板缓冲器，系可连通地连接于该至少一个输送舱节点，以进行基板之缓冲作业。
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