用于镀膜制程之气体释出装置

主权项

一种用于镀膜制程之气体释出装置，包含有：一下板；一第二中间板，堆叠于该下板之顶面；一第一中间板，堆叠于该第二中间板之顶面；以及一上板，堆叠于该第一中间板之顶面；其中，该上板具有一贯穿顶、底两面之进气孔及一连接该进气孔底端之分配槽，该第一中间板具有一第一顶面凹槽，该第一顶面凹槽接合该上板之分配槽且连接有至少二贯穿顶、底两面之第一分配孔，各该第一分配孔连接一第一底面凹槽，该第二中间板具有至少二第二顶面凹槽，各该第二顶面凹槽接合该第一中间板之一该第一底面凹槽且连接有二贯穿顶、底两面之第二分配孔，各该第二分配孔连接一第二底面凹槽，该下板具有至少四承接槽，各该承接槽接合该第二中间板之一该第二底面凹槽且连接有多数个贯穿顶、底两面之排气孔。