感光化射线或感放射线树脂组成物及使用该组成物之图案形成方法

主权项

一种感光化射线或感放射线树脂组成物，其包含：一种在以酸作用时分解因而增加其在硷显影剂中溶解度之树脂，一种在对光化射线或放射线曝光时产生酸之化合物，及任何以下通式(1)之硷性化合物，
其中各l、m、o、p与q独立地为1或更大之整数，n为2或更大之整数，各r与s独立地为1或更大之整数，t为0或更大之整数，各-X1-与-X2-独立地表示-O-、-S-或-CO-，R1与R2表示氢原子，及R3在n为3或更大且t为1或更大时表示氢原子、烷基、芳基或芳烷基；在t为0时表示烷基、芳基或芳烷基；及在n为2时表示芳基或芳烷基。