| 主权项 |
一种被组构成在制造设备中之缓冲器内运输工件容器之运输机件，包括：一运输器，其被组构成在二轨道上行进，其中该运输器包括(i)被组构成举起及降低一或多个工件容器之平皮带起重机件，及(ii)被组构成捕捉及释放该一或多个工件容器之夹持器机件；一工件容器，其被组构成储存一或多个工件；一缓冲器，其包括被组构成固持该一或多个工件容器的一或多个储存架子及被组构成供以在上头的运输车辆交换工件容器的多个输入/输出架子，该多个输入/输出架子，系被配列成排列于前述缓冲器宽度方向，该储存架子系被配列于该输入/输出架子的下方，该缓冲器，系更包括：二机架轨道，用于使该运输器行进，以延伸于该缓冲器之宽度方向的方式，安装在每一储存架子与每一输入/输出架子上方及该运输器行进之载入口上方且该缓冲器之基底；及一升降器，被组构成在诸位准之间运动该运输器，其具有一机台，该机台设有二机台轨道，以支撑在诸位准之间运动的期间之具有工件容器之运输器，且被配置成在延伸于该缓冲器之宽度方向且诸位准上，与该机架轨道对齐，而具有用于对齐在每一输入/输出架子上方及在载入口上方且该缓冲器的基底的该机架轨道与该等机台轨道之对齐能力；
该运输机件，系更包括：一支撑件，其被组构成使该缓冲器位于制程工具的一或多个载入口上方，及一控制机件，其被组构成：引导该运输器，在储存架子或输入/输出架子与该升降器之机台之间、及该升降器之机台与载入口位置之间运动，而运输工件容器；引导该升降器，以由位准至位准地运动，而运动该运输器之机台；同步化该升降器、运输器、及工件容器之运动；及与一在制造设备内管理工件容器之运动的工件容器运动系统交换指令。
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