可提升蒸镀材料使用率之线性蒸镀装置

主权项

一种可提升蒸镀材料使用率之线性蒸镀装置，系具有一反应腔体，供针对一基板进行镀膜制程，其特征在于：该反应腔体内具有至少一绝热腔体，该绝热腔体内具有一线性蒸镀源，并透过一混合腔体均匀混合该线性蒸镀源之蒸气，且该绝热腔体系导入一反应式蒸镀材之蒸气，使该线性蒸镀源蒸气自该混合腔体散出时，与该反应式蒸镀材之蒸气进行反应并一并自该绝热腔体喷出以于该基板进行镀膜，其中该混合腔体连通该线性蒸镀源之侧设有复数个限流孔，并于该混合腔体相对侧具有一线性蒸镀开口。