| 主权项 |
一种光伏电池的制作方法，包括：提供一半导体基板，该半导体基板具有一第一表面与一第二表面，该第二表面相对于该第一表面，其中该第一表面包括一平坦表面部，该平坦表面部定义出一接触区域；在该半导体基板中形成一邻近该第一表面的第一掺杂区；在该半导体基板的该第一表面上形成一遮蔽层；提供一模具，该模具具有包括一凸起结构的一图案；进行一奈米压印制程以将该图案转移至该遮蔽层，其中该凸起结构与该接触区域对齐；于该奈米压印制程之后，进行一蚀刻制程以于该半导体基板中之该接触区域形成一沟槽，该沟槽自该第一表面延伸入该半导体基板中；于该半导体基板中形成一位于该沟槽中的第二掺杂区，该第二掺杂区的掺杂浓度大于该第一掺杂区的掺杂浓度；以及以一导电材料填满该沟槽。
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