主权项 |
一种内建温度感应器之空气游离腔装置,其系包括有:一空腔,为一腔壁与外界环境隔离之空间;一腔壁及一外电极,该腔壁为该空腔与外界环境之隔离材料,若是一导电材料,则腔壁形成该外电极;若为一绝缘材料,则需在该腔壁内面涂抹一导电物质形成该外电极,且该腔壁固定于一腔柄上;一内电极,设置于该空腔内部,该内电极之一端固定于该内电极固定座中,该内电极连接有一游离腔信号线;一护极,设置于该外电极及该内电极之间的一绝缘基材上,该护极系与该内电极为同电位;以及一温度感应器,设置于该外电极与该护极之间的该绝缘基材上,可即时量测该空腔内之温度,并藉由一温度信号线做一输出,该温度感应器之尺寸必须小于该腔体有效收集体积的0.05%。
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