主权项 |
一种固态摄像装置,其特征为具备:第1元件形成区域,系被半导体基板内之元件分离区域包围,该半导体基板具有第1面及和上述第1面呈对向的第2面;上部元件分离层,系于上述元件分离区域内设于上述第1面侧;下部元件分离层,系设于上述第2面与上述上部元件分离层之间;第1光二极体,系包含设于上述元件形成区域内之第1杂质层;浮置扩散部,系设于上述元件形成区域内;及第1电晶体,配置于上述第1光二极体与上述浮置扩散部之间,具有设于上述第1面上的第1闸极电极;在和上述半导体基板之上述第1面呈水平之方向,挟持上述第1杂质层而和上述电晶体呈对向的上述下部元件分离层之侧面,系较位于其上方的上述上部元件分离层之侧面更朝上述电晶体侧突出;上述上部元件分离层及上述下部元件分离层为杂质层;作为上述下部元件分离层的杂质层之浓度,系在作为上述上部元件分离层的杂质层之浓度以下。
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