| 主权项 |
一种载板之制程，其制程为：(a)选取一由第一基材、第三基材及设于两者间的第二基材所层叠设置构成之基板；(b)于该第三基材上设置至少一感光层，且对该感光层进行曝光手段及蚀刻手段使其形成至少一得露出该第三基材之凹部，并藉由该第一基材及该第三基材夹设该第二基材来避免该第二基材之成分于蚀刻手段时污染该凹部；(c)于该凹部中设置至少一与该第三基材接触之导通层，且以侵蚀手段清除剩余的该感光层，并在该第三基材上设置至少一包覆该导通层之披覆层；(d)由侵蚀手段去除该第一基材；(e)于至少一容置有蚀刻药剂之蚀刻槽中经蚀刻手段去除该第二基材，以避免该第二基材之成分污染该导通层；(f)以侵蚀手段清除该第三基材。 |
