| 发明名称 | 蒸镀装置及利用该蒸镀装置进行的蒸镀方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI496920 | 申请公布日期 | 2015.08.21 |
| 申请号 | TW102139492 | 申请日期 | 2013.10.31 |
| 申请人 | 上海和辉光电有限公司 | 发明人 | 黄俊允 |
| 分类号 | C23C14/24 | 主分类号 | C23C14/24 |
| 代理机构 | 代理人 | 叶大慧 台北市中正区新生南路1段50号10楼 | |
| 主权项 | 一种蒸镀装置，包括冷却板，所述冷却板设置于蒸镀机内移动蒸发源的上方，其特征在于，还包括多个活动板；所述多个活动板通过一固定装置设置于所述冷却板的下方；一联动装置控制所述多个活动板同步自转，于所述移动蒸发源的上方形成防着面板。 | ||
| 地址 | 中国 | ||