剥离方法及剥离装置

主权项

一种剥离方法，其系由包含基板与支持板之层合体将该支持板剥离之剥离方法，该支持板系隔着接着剂层贴附在该基板，该接着剂层系由对于非极性溶剂表现出溶解性的接着化合物或对于高极性溶剂表现出溶解性的接着化合物所形成，其特征为：上述非极性溶剂系由薄荷烷、薴烯、蒎烯、甲苯、二甲苯、正己烷、异己烷、环己烷、甲基环己烷、庚烷、辛烷及壬烷所构成之群中选出，包含以至少使上述非极性溶剂或上述高极性溶剂滞留在上述层合体的上述支持板侧的端面部及上述层合体的侧面部的方式，供给上述非极性溶剂或上述高极性溶剂之供给步骤。