发明名称 金属积层构造体及金属积层构造体之制造方法
摘要
申请公布号 TWI496681 申请公布日期 2015.08.21
申请号 TW100105393 申请日期 2011.02.18
申请人 住友电气工业股份有限公司;联合材料股份有限公司 发明人 新田耕司;稻泽信二;细江晃久;真嶋正利;诹访多治;横山博;山形伸一;安部诱岳
分类号 B32B15/01;C23C2/04 主分类号 B32B15/01
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;丁国隆 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 一种金属积层构造体(100),具备:含钨之第1金属层(1)、含铜之第2金属层(2)、以及含钨之第3金属层(3);该第1金属层(1)系设置在该第2金属层(2)之第1表面(2a)上;该第3金属层(3)系设置在与该第2金属层(2)之该第1表面(2a)为相反侧的第2表面(2b)上;该第1金属层(1)所含之该钨的结晶粒(1a),系在对该第2金属层(2)之该第1表面(2a)垂直方向上伸长的柱状结晶;该第3金属层(3)所含之该钨的结晶粒(3a),系在对该第2金属层(2)之该第2表面(2b)垂直方向上伸长的柱状结晶。
地址 日本