薄膜电晶体用配线层构造及其制造方法

主权项

一种薄膜电晶体用配线层构造，其特征系具备：半导体基板或玻璃基板的底层基板；含氧Cu层或含氧Cu合金层，其系形成于该底层基板上；氧化物层，其系形成于该含氧Cu层或该含氧Cu合金层上，含有Al、Zr、Ti的其中至少一种；及Cu合金层，其系形成于该氧化物层上，含有Al、Zr、Ti的其中至少一种，前述氧化物层系形成于前述含氧Cu层或前述含氧Cu合金层与前述Cu合金层的界面。