| 主权项 |
一种光阻图型涂布剂，其特征系含有：具有羟基之树脂、溶剂、一般式(4)表示之化合物及选自至少具有2个下述一般式(1)表示之基的化合物、具有下述一般式(2)表示之化合物之至少1种的化合物，
(前述一般式(1)中，R0系表示氢原子或甲基，n系表示0~10之整数)(前述一般式(2)中，R1及R2系表示氢原子或下述一般式(3)表示之基，但是R1及R2之至少任一系下述一般式(3)表示之基)(前述一般式(3)中，R3及R4系表示氢原子、碳数1~6之烷基、或碳数1~6之烷氧烷基，或表示相互连结形成之碳数2~10的环，R5系表示氢原子或碳数1~6之烷
基)(前述一般式(4)中，R6及R7系相互独立表示单键、伸甲基、碳数2~10之直链状或支链状之伸烷基、或碳数3~20之2价环状烃基，R8系表示碳数1~10之直链状或支链状之烷基、或碳数3~20之1价环状烃基，m系0或1)。 |
