Vorrichtung zum Bestimmen einer Topographie einer Objektoberfläche

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bestimmen einer Topographie einer Objektoberfläche (2) mit einer Objekthalterung und einem Messkopf (1), der eine Mehrzahl von voneinander beabstandeten Abstandssensoren (4.1, 4.2, ...) zur Messung von Abständen in einer Beobachtungsrichtung (z) zwischen den Abstandssensoren (4.1, 4.2, ...) und der Objektoberfläche (2) aufweist, und relativ zur Objektoberfläche (2) in zumindest einer Richtung (x), die im Wesentlichen senkrecht zu der Beobachtungsrichtung (z) des Messkopfes liegt, verfahrbar ist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass zumindest drei Reflexionsflächen (8.1, 8.2, 8.3) an dem Messkopf (1) angeordnet sind, und die Vorrichtung zumindest drei Winkelmessgeräte (10.1, 10.2, 10.3) zur Messung von Verkippungen des Messkopfes (1) gegenüber der Objekthalterung umfasst.