| 摘要 |
<p>【課題】フォーカス性能およびスループットの両立に有利な露光装置を提供する。【解決手段】基板上の複数のショット領域のそれぞれに走査露光を行う露光装置は、前記基板の走査に伴い前記基板上の計測箇所に関して露光領域内において検出を行う第１検出部と、前記基板の走査に伴い前記第１検出部による検出に先立って前記計測箇所に関して検出を行う第２検出部とを含み、前記第１検出部の出力および前記第２検出部の出力のそれぞれに基づいて前記基板の高さを計測する計測部と、第１ショット領域の走査露光に伴い前記第１検出部の出力に基づいて前記計測部により得られた計測結果に基づいて、前記第１ショット領域の後に走査露光を行う第２ショット領域に関して、前記第２検出部の出力に基づいて前記計測部による計測を最初に行う第１計測箇所を決定する処理部と、を含む。【選択図】図１</p> |
