FLATNESS MEASURING DEVICE OF BGA AND FLATNESS MEASUREMENT METHOD OF BGA

摘要

【課題】半田ボールの機械的な除去をする事なく、加熱中のパッケージの変形を計測するＢＧＡの平坦度計測装置を提供する。【解決手段】計測データ６０ａ−１と計測データ６０ｂ−１とを重ねてボール有り面３次元形状データ１６−１を作成する。ボール無し面３次元形状データ作成部において、半田ボールデータ部分５８−１と５８−２を判断し、プログラム処理によって半田ボールデータ部分５８−１と５８−２を除外してボール無し面３次元形状データ２１−１を作成する。【選択図】図７