TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND ELECTRONIC DEVICE FORMED USING TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM

摘要

【課題】優れた湿熱特性を有する透明導電フィルム、透明導電フィルムの製造方法およびそのような透明導電フィルムを用いてなる電子デバイスを提供する。【解決手段】樹脂基材の少なくとも片面に透明導電層を形成してなる透明導電フィルム等であって、透明導電層が、酸化亜鉛を含むとともに、ガリウムとインジウムをドープしてなる酸化亜鉛膜であり、透明導電層は、ＸＰＳの元素分析測定による亜鉛量、ガリウム量、酸素量、およびインジウム量の合計量（１００ａｔｏｍ％）に対して、インジウム量を０．０１〜８ａｔｏｍ％の範囲内の値とするとともに、ガリウム量を０．１〜１０ａｔｏｍ％の範囲内の値とし、当該酸化亜鉛膜の初期の比抵抗（ρ0）を５?１０-4Ω・ｃｍを超えて、１?１０-1Ω・ｃｍ以下の値とし、かつ、酸化亜鉛膜の膜厚を１０〜３００ｎｍの範囲内の値とする。【選択図】図５