| 摘要 |
<p>기판 이송 장치가 제공된다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 기판을 지지하며 상기 기판을 제1 방향을 따라 이송시키는 제1 레인 및 제2 레인을 포함하는 입구 컨베이어, 상기 입구 컨베이어로부터 상기 기판을 공급받는 기판처리부, 및 상기 기판처리부로부터 상기 기판을 전달받아 상기 기판을 이송시키는 제3 레인 및 제4 레인을 포함하는 출구 컨베이어를 포함하고, 상기 제1 레인 내지 상기 제4 레인은 각각 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 독립적으로 변위되는 2개의 이송레일을 포함하고, 복수의 상기 이송레일 중 인접한 한 쌍의 이송레일은 이송유닛을 구성하여 상기 기판을 이송시킨다.</p> |
