蒸着マスク、蒸着マスク準備体、及び有機半導体素子の製造方法

摘要

【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たし、蒸着マスクを用いた製造過程における歩留まりの向上や、品質の向上が可能な蒸着マスク、蒸着マスク準備体、さらには、蒸着マスクを用いた有機半導体素子の製造方法を提供すること。【解決手段】蒸着作製するパターンに対応する開口部２５が設けられた樹脂マスク２０の一方の面上に、前記開口部２５と重なるスリット１５が設けられた金属マスク１０が積層されてなる蒸着マスク１００において、金属マスク１０の樹脂マスク２０と接する側の面の少なくとも一部を露出させることで上記課題を解決する。【選択図】図１