| 摘要 |
<p>Ein Lagerelement für ein Lagersystem zum Lagern eines optischen Elements umfasst ein erstes Koppelende (52), an dem es mit dem optischen Element (34) koppelbar ist, und ein zweites Koppelende (56), an dem es einer Tragstruktur (38) koppelbar ist, sowie wenigstens eine Trageinheit (48, 50), welche sich zwischen dem ersten Koppelende (52) und dem zweiten Koppelende (56) erstreckt. Die Trageinheit (48, 50) umfasst ein Stützelement (66), welches überwiegend eine Stützfunktion hat, und wenigstens ein Funktionselement (64), welches im Vergleich zu dem Stützelement (66) überwiegend eine andere Funktion als eine Stützfunktion hat. Bei einem System zum Lagern eines optischen Elements (34) in Halbleiterreinräumen oder im Vakuum, insbesondere in einer Beleuchtungseinrichtung für eine mikrolithographische EUV-Projektionsbelichtungsanlage, ist wenigstens ein derartiges Lagerelement (42) vorhanden.</p> |
