| 摘要 |
<p>본 발명은 모재 상에 형성되는 Ti 화합물, 계면층, 알루미나층을 포함하여 이루어지며, 상기 계면층이 Ti 화합물과 알루미나 양쪽에 대해 화학적 또는 물리적 친화성이 있어, Ti 화합물층과 알루미나층 간의 밀착력을 향상시킬 수 있는 경질피막에 관한 것이다. 본 발명에 따른 경질피막은, 입방(cubic)정 구조를 갖는 Ti 화합물층과, 능면정(rhombohedral) 구조를 갖는 AlO층과, 상기 Ti 화합물층과 AlO층 사이에 배치되는 계면층을 구비하며, 상기 계면층은 능면정(Rhombohedral) 구조를 갖는 Ti 산화물층을 포함한다.</p> |
