摘要 |
本発明は、n型層(132)、活性層(133)、及びp型層(134)をそれぞれが備える基本構造(150)を形成するステップを含む、発光ダイオード(LED)デバイスの集合的製造の方法に関し、方法は、各基本LED構造(150)の一部の横方向寸法を縮小するステップと、基本構造(150)の側部に絶縁材料(139)の一部分を形成するステップと、n型電気的コンタクトパッド(145)及びp型電気的コンタクトパッド(138)を形成するステップと、基本構造(150)に導電性材料層(141)を堆積し、導電性材料層(141)を研磨するステップと、前記構造(70)の研磨された面(70a)に第2の基板(50)を分子付着によってボンディングするステップとを含む。【選択図】 図1N |