| 摘要 |
<p>【課題】流路を通流する流体の流量を高い精度で測定できる流量測定装置を提供すること。【解決手段】流路の第１の部位の発振周波数ｆ１を第１の水晶振動子ユニット３Ａにより検出すると共に、第１の部位の下流側の第２の部位の発振周波数ｆ２を第２の水晶振動子ユニット３Ｂにより検出する。発振周波数と温度とは対応しているので、前記流路に流体を通流させた状態で各々取得した第１の水晶振動子ユニット３Ａの発振周波数ｆ１と第２の水晶振動子ユニット３Ｂの発振周波数ｆ２との差分は温度差に相当する。また水晶振動子による測定では、微小な温度差も発振周波数の差分として現れるため、高精密な温度検出を行うことができる。このため前記発振周波数の差分に基づいて、流体の流量を高い精度で測定することができる。【選択図】図１</p> |
