| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 제조 공정 약품 가열용 인라인 히터에 관한 것으로, 반도체 제조 공정 약품을 가열하는 인라인 히터에 있어서, 상기 인라인 히터를, 불소수지가 피복된 전열선이 내장 된 불소수지 재질의 용기와, 상기 용기 상부에 결합되는 불소수지 재질의 헤드로 구성하고, 상기 헤드에는, 상기 용기와 헤드를 연결하는 용기 결합부와, 상기 용기 내부에 가열할 약품을 투입하는 약품 주입관과, 가열된 약품을 배출하는 약품 배출관과, 상기 전열선에 전력을 공급하는 전력선이 포함된 전력선 조립체를 설치할 수 있는 전력선 설치관 및 다른 부품 설치관을 형성하되, 상기 용기 결합부, 약품 주입관, 약품 배출관 및 전력선 설치관 등은 동일 종류의 불소수지 분말을 이용하여 일체(一體)로 소결(燒結) 성형하여, 용기 결합부, 약품 주입관, 약품 배출관, 전력선 설치관 및 다른 부품 설치관 간에 약품이 누설할 수 있는 기계적 결합부를 없앤 것을 특징으로 한다.</p> |
