| 摘要 |
<p>【課題】 長期信頼性を低下させることなく短時間で昇温可能なセラミックヒータを提供する。【解決手段】 ヒータ１０は、柱状のセラミック体１と、セラミック体１の先端側の内部に設けられた発熱抵抗体４と、セラミック体１が挿入された金属ケース２と、セラミック体１の少なくとも先端側の外面と金属ケース２の内面との間に配置された充填剤３とを備えており、セラミック体１の先端側の外面の一部が金属ケース２に接している。これにより、長期信頼性を低下させることなく、発熱抵抗体４から発せられた熱を短時間で金属ケース２に伝えることができる。【選択図】 図１</p> |
