| 摘要 |
<p>【課題】本発明の課題は、高温高湿下においても機能性の変化が少ない機能性フィルムの製造装置及び製造方法を提供することである。【解決手段】本発明の機能性フィルムの製造装置は、大気圧以上の圧力下において、原子層堆積法により、ベースフィルム上に機能性層として無機膜を形成する機能性フィルムの製造装置であって、ベースフィルム上に前記無機膜の原料を供給する原料供給部と、少なくとも１種以上の改質用ガスに、互いに周波数が異なる第１周波数及び第２周波数の交流電圧をそれぞれ印加してプラズマを生成し、当該プラズマによりベースフィルム上の前記原料を改質して前記無機膜を形成する改質処理部と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図１</p> |
