摘要 |
Vorrichtung (100) zum eutektischen Bonden, aufweisend: – einen Bondrahmen mit zwei Substraten (10, 20); und – eine auf den Substraten (10, 20) angeordnete Rahmeneinrichtung mit zwei Rahmen (50, 60), mittels der ein beim Bonden gebildetes Eutektikum (70) räumlich definiert ausbildbar ist, wobei ein von den Rahmen (50, 60) und den Substraten (10, 20) gebildetes Volumen vollständig mit Eutektikum (70) ausfüllbar ist. |