发明名称 Vorrichtung zum eutektischen Bonden
摘要 Vorrichtung (100) zum eutektischen Bonden, aufweisend: – einen Bondrahmen mit zwei Substraten (10, 20); und – eine auf den Substraten (10, 20) angeordnete Rahmeneinrichtung mit zwei Rahmen (50, 60), mittels der ein beim Bonden gebildetes Eutektikum (70) räumlich definiert ausbildbar ist, wobei ein von den Rahmen (50, 60) und den Substraten (10, 20) gebildetes Volumen vollständig mit Eutektikum (70) ausfüllbar ist.
申请公布号 DE102014202817(A1) 申请公布日期 2015.08.20
申请号 DE201410202817 申请日期 2014.02.17
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 STRAUB, RAINER;BAADER, JOHANNES;DUELL, ANDREAS;HAUSNER, RALF
分类号 B81C3/00;B81C1/00;H01L21/20 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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