发明名称 Bipolarhalbleiterbauelement und Herstellungsverfahren
摘要 <p>Bipolarhalbleiterbauelement (100), umfassend: ein Halbleitersubstrat (20), das eine erste Oberfläche (15), eine gegenüberliegende Oberfläche (16), einen zwischen der ersten Oberfläche (15) und der gegenüberliegenden Oberfläche (16) angeordneten ersten und zweiten pn-Übergang (11, 12) umfasst; eine auf der ersten Oberfläche (15) angeordnete erste Metallisierung (7); eine auf der gegenüberliegenden Oberfläche (16) angeordnete zweite Metallisierung (8); und eine bei dem ersten pn-Übergang (11) und der ersten Oberfläche angeordnete isolierte Gateelektrode (9); wobei das Halbleitersubstrat (20) weiter ein Driftgebiet (2) vom n-Typ, ein mit dem Driftgebiet (2) den ersten pn-Übergang (11) bildendes Bodygebiet (3) vom p-Typ und ein das Bodygebiet (3) elektrisch mit der ersten Metallisierung (7) verbindendes Bodykontaktgebiet (5) vom p-Typ, das höher dotiert ist als das Bodygebiet (3), umfasst, und wobei das Bipolarhalbleiterbauelement (100) weiterhin eine Löcherstromumverteilungsstruktur (10) umfasst, die vollständig in das Bodygebiet (3) eingebettet und von diesem umgeben ist, und zwischen der ersten Metallisierung (7) und dem ersten pn-Übergang (11) angeordnet ist, wobei die Löcherstromumverteilungsstruktur (10) in einer Projektion auf die erste Oberfläche (15) mit dem Bodykontaktgebiet (5) überlappt und von einem porösen Halbleitergebiet, einem isolierenden Gebiet, einem Hohlraum oder einem Teilgebiet (10) des Bodygebiets (3) gebildet wird, wobei das Teilgebiet vom p-Typ ist und zusätzliche Streuzentren für Löcher umfasst.</p>
申请公布号 DE102010036818(B4) 申请公布日期 2015.08.20
申请号 DE20101036818 申请日期 2010.08.03
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AUSTRIA AG 发明人 SCHULZE, HANS-JOACHIM;SANTOS RODRIGUEZ, FRANCISCO JAVIER
分类号 H01L29/739;H01L21/331 主分类号 H01L29/739
代理机构 代理人
主权项
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