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Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Bauteils sowie ein mikromechanisches Bauteil. Das Verfahren umfasst die Schritte: Bereitstellen (S01) eines Substrats (10) mit einer ersten Außenfläche (10-f) und mit einer zweiten Außenfläche (10-b), welche von der ersten Außenfläche (10-f) abgewandt ist; Ausbilden (S02) eines Durchgangslochs (12-ij) durch das Substrat (10) von der ersten Außenfläche (10-f) bis zu der zweiten Außenfläche (10-b); Anbringen (S03) einer optischen Funktionsschicht (14) auf der zweiten Außenfläche (10-b), wobei die optische Funktionsschicht (14) das Durchgangsloch (12-ij) bedeckt; Entfernen (S04) eines ersten Segments (18-2) des Substrats (10) an der ersten Außenfläche (10-f) des Substrats (10) derart, dass eine in Bezug auf die zweite Außenfläche (10-b) des Substrats (10) geneigte dritte Außenfläche (16-i) entsteht, welche von der zweiten Außenfläche (10-b) des Substrats (10) abgewandt ist, wobei die geneigte dritte Außenfläche (16-i) das Durchgangsloch (12-ij) umschließt; und Vereinzeln (S12) des mikromechanischen Bauteils durch Vereinzeln eines ersten Teils (22-i) des Substrats (10), welcher das Durchgangsloch (12-ij) aufweist, und eines an dem ersten Teil (22-i) angebrachten zweiten Teils (24-i) der optischen Funktionsschicht (14) von einem Rest des Substrats (10) und von einem Rest der optischen Funktionsschicht (14). |
