金刚石表面电镀设备及电镀方法

摘要

本发明公开了一种金刚石表面电镀设备及电镀方法，该电镀设备包括电镀槽，电镀槽内设有阳极管及与阳极管相对设置的阴极桶，阳极管为内部空心的喷管，电镀槽的出液口经循环泵及管道连接至阳极管。通过将阳极管设计为内部空心的喷管，并将电镀槽的出液口经循环泵及管道连接至阳极管，粉末状的金刚石混合在电镀液中经循环泵、管道流至阳极管，并经阳极管喷射到阴极桶内，金刚石在跟阴极桶瞬间接触时，在金刚石表面电镀上镀层，金刚石再随电镀液回流至电镀槽内，在循环泵的作用下循环经内部空心的阳极管喷射至阴极桶内，以达到金刚石表面的镀层厚度要求。本发明金刚石表面电镀设备的处理量大、处理能力高，且克服了金刚石在电镀过程中粉末团聚的问题。

主权项

一种金刚石表面电镀设备，包括用于盛放电镀液的电镀槽(10)，所述电镀槽(10)内设有阳极管(20)及与所述阳极管(20)相对设置的阴极桶(30)，其特征在于，所述阳极管(20)为内部空心的喷管，所述电镀槽(10)的出液口(11)经循环泵(40)及管道(41)连接至所述阳极管(20)；所述电镀槽(10)的内部设有收集槽(100)，所述收集槽(100)包括自接近所述阳极管(20)侧的电镀槽(10)侧壁向所述电镀槽(10)的底部倾斜延伸的倾斜段(101)及平行于所述电镀槽(10)侧壁的平行段(102)；所述平行段(102)连接所述倾斜段(101)的末端及所述电镀槽(10)的底部，所述倾斜段(101)、平行段(102)及接近所述阴极桶(30)的电镀槽(10)侧壁与电镀槽(10)的底部合围形成收集槽(100)。