一种应用柔性背极的硅电容麦克风

摘要

本发明提供了一种用于应用柔性背极的硅电容麦克风，包括基底、振膜和柔性背极，所述柔性背极与所述振膜形成可变电容，其中，所述柔性背极因残余应力导致的翘曲小于或等于20微米，所述柔性背极上设置有波纹或加强筋，并且所述柔性背极上还设置有开孔或开槽。在现有工艺水平下，硅电容麦克风的灵敏度、线性度、信噪比、敏感电容、动态响应等性能指标和产品环境适应性，由于应用本发明的设计手段而得以提高。

主权项

一种用于应用柔性背极的硅电容麦克风，包括基底、振膜和柔性背极，所述柔性背极与所述振膜形成可变电容，其特征在于，所述柔性背极因残余应力导致的翘曲小于或等于20微米，所述柔性背极上设置有波纹或加强筋，并且所述柔性背极上还设置有开孔或开槽。