基于电荷积分的静电夹监测器

摘要

本发明提出一种具有静电夹的静电夹监测系统，该静电夹配置成通过一个或多个电极选择性地将工件静电夹持至与其相关的夹持面。电源电性连接至静电夹，其中该电源配置成选择性地向静电夹的一个或多个电极供应钳制电压。数据采集系统可操作地耦接至电源并配置成测量供应至一个或多个电极的电流，从而定义经测电流。控制器对经测电流在时间上积分，从而确定与工件及静电夹之间夹持力相关的电荷值。存储器存储多个夹持周期中与夹持力相关的电荷值，从而定义多个电荷值，并且控制器基于当前确定的电荷值与所述多个电荷值的对比来确定静电夹的夹持能力。

主权项

一种静电夹监测系统，其包括：静电夹，其配置成通过一个或多个电极选择性地将工件静电夹持至与其相关的夹持面；电性连接至所述静电夹的电源，其中该电源配置成选择性地向所述静电夹的所述一个或多个电极供应钳制电压；数据采集系统，其可操作地耦接至所述电源并配置以测量供应至所述一个或多个电极的电流，从而定义经测电流；控制器，其配置成对所述经测电流在时间上积分，从而确定与所述工件及所述静电夹之间夹持力相关的电荷值；存储器，其配置成存储多个夹持周期中与所述工件及静电夹之间夹持力相关的电荷值，从而定义多个电荷值，其中所述控制器进一步配置成基于当前确定的电荷值与所述多个电荷值的对比来确定所述静电夹的夹持能力。