发明名称 |
应用于低压炉管装置的压力检测系统 |
摘要 |
本发明公开了一种应用于低压炉管装置的压力检测系统包括控制单元、机械式压力开关和电容式压力计;机械式压力开关包括一底座,底座具有一个压力输入口并固定有一波纹管,压力输入口与顶部密封底部开放的波纹管相通;波纹管顶部固定有支撑杆,支撑杆上套设有连接信号的导电片;底座上固定装有支撑罩,波纹管、支撑杆和导电片位于支撑罩内,支撑罩顶部固定有两个导体棒;机械式压力开关通过导体棒顶部的两根导线串联在电容式压力计和控制单元形成的测试回路中。本发明在原有电容式压力计基础上增加了一个机械式压力开关,不但保留了电容式压力计的功能,而且对电容式压力计进行了双重确认,有效降低了因电容式压力计零点偏移导致的产品或石英部品的损坏。 |
申请公布号 |
CN103575452B |
申请公布日期 |
2015.08.19 |
申请号 |
CN201210249428.0 |
申请日期 |
2012.07.18 |
申请人 |
上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
刘立成;刘波;钱敏 |
分类号 |
G01L9/12(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I |
主分类号 |
G01L9/12(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
丁纪铁 |
主权项 |
一种应用于低压炉管装置的压力检测系统,其特征在于:包括控制单元(1)、机械式压力开关(2)和电容式压力计(3);所述机械式压力开关(2)包括一底座(22),所述底座(22)具有一个压力输入口(21),该压力输入口(21)与一顶部密封且底部开放的波纹管(23)相通,所述波纹管(23)的下端固定在底座(22)上;所述波纹管(23)的封闭顶部固定有一支撑杆(25),所述支撑杆(25)上套设有一个连接信号的导电片(28);所述支撑杆(25)为螺纹杆结构,导电片(28)通过上下两个螺母(26)固定在支撑杆(25)上,两个螺母(26)和导电片(28)之间分别设有绝缘垫圈(27),所述两螺母(26)远离导电片(28)的一侧装有防松螺母(29);所述底座(22)上固定装有一支撑罩(211),所述波纹管(23)、支撑杆(25)和导电片(28)均位于支撑罩(211)内部,所述支撑罩(211)的顶部固定装有两个导体棒(210),每个导体棒(210)的顶部连接有一根导线(212);所述机械式压力开关(2)通过两根导线(212)串联在电容式压力计(3)和控制单元(1)形成的测试回路中;当炉管内的压力不低于设定的阈值时,所述波纹管(23)处于自然伸张的状态,导电片(28)与导体棒(210)接触,电容式压力计(3)与控制单元(1)连通;当炉管内的压力低于设定的阈值时,所述波纹管(23)处于收缩的状态,导电片(28)与导体棒(210)分离,电容式压力计(3)与控制单元(1)未连通。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 |