发明名称 复合存储器
摘要 本发明公开了一种复合存储器。该复合存储器包含若干个复合存储单元。该复合存储单元包括:浮栅子单元;以及形成于该浮栅子单元的漏极之上的电阻随机存储器RRAM子单元;其中,RRAM子单元作为存储模块时,浮栅子单元作为选通模块;而RRAM子单元处于低阻态时,浮栅子单元作为存储模块。本发明综合利用了浮栅存储方式的高密度、高可靠性、串扰小、耐受性高等优点和RRAM存储方式的低功耗、高速度、结构简单等优点。
申请公布号 CN102651233B 申请公布日期 2015.08.19
申请号 CN201110046327.9 申请日期 2011.02.25
申请人 中国科学院微电子研究所 发明人 刘明;许中广;霍宗亮;谢常青;龙世兵;张满红;李冬梅;王琴;刘璟
分类号 G11C11/413(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I 主分类号 G11C11/413(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种复合存储器,其特征在于,该复合存储器包括存储阵列、RRAM外围控制电路、CTF外围控制电路和选通电路,其中:所述存储阵列包括若干个复合存储单元,该复合存储单元包括:CTF子单元;以及形成于该CTF子单元的漏极之上的电阻随机存储器RRAM子单元;其中,所述RRAM子单元作为存储模块时,所述CTF子单元作为选通模块;而所述RRAM子单元处于低阻态时,所述CTF子单元作为存储模块,沿位线方向的两个复合存储单元共用源极,所述RRAM子单元的一电极与所述CTF子单元的漏极相连接;所述RRAM子单元与所述电极相对应的另一电极作为所述复合存储单元的位线;以及所述CTF子单元的栅极作为所述复合存储单元的字线;所述选通电路,与所述RRAM外围控制电路、浮栅外围控制电路和各存储单元的字/位线相连接,用于实现对预设所述复合存储单元存储模式的选择;所述RRAM外围控制电路,与所述选通电路和RRAM子单元相连接,用于实现对预设复合存储单元中RRAM子单元的编程、擦除或读取;所述CTF外围控制电路,与所述选通电路和CTF子单元相连接,用于实现对预设复合存储单元中CTF子单元的编程、擦除或读取;其中,CTF外围控制电路和RRAM外围控制电路通过选通电路与存储阵列连接,存储阵列的字线通过一个选通开关分别与CTF外围控制电路的字线选通管和RRAM外围控制电路的字线选通管连接,存储阵列的位线通过一个选通开关分别与CTF外围控制电路的位线选通管和RRAM外围控制电路的位线选通管连接,选通开关由选通信号sel控制:一、当需要高速低压存储方式时,控制选通信号sel为高电平“1”,RRAM外围控制电路被选通,此时选择RRAM子单元作为存储模块,CTF子单元此时作为选通模块;二、当需要CTF子单元作为存储模块时,对所有RRAM单元进行Reset操作使其全部变为低阻态,控制选通信号sel置“0”,CTF外围控制电路被选通,此时选择CTF子单元作为存储模块。
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