被加工物载置固定用工作台及被加工物载置固定用玻璃夹盘

摘要

本发明为被加工物载置固定用工作台及被加工物载置固定用玻璃夹盘，且本发明为加工容易且能稳定地保持被加工物的激光加工装置用的工作台及用于所述工作台的玻璃夹盘。激光加工装置中载置固定被加工物的工作台包含平板状的玻璃夹盘、及从外周保持玻璃夹盘的保持框，在玻璃夹盘的载置被加工物的被载置面，用以吸引固定被加工物的抽吸用槽以俯视时呈蜂窝状的配置而形成。

主权项

一种被加工物载置固定用工作台，在激光加工装置中载置固定被加工物，其特征在于包含：平板状的玻璃夹盘；及从外周保持所述玻璃夹盘的保持框；在所述玻璃夹盘的载置被加工物的被载置面，用以吸引固定所述被加工物的第一抽吸用槽以俯视时呈蜂窝状的配置而形成；所述玻璃夹盘包含与所述第一抽吸用槽连通且到达至所述玻璃夹盘的端部为止的第二抽吸用槽；所述保持框包含在一端部与所述第二抽吸用槽连通且另一端部成为与所述工作台外的抽吸用管的连接部的抽气路径。