感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件

摘要

本发明提供一种感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件。所述感光性聚硅氧烷组合物包括聚硅氧烷(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、含酰胺酸基的硅烷化合物(C)以及溶剂(D)。当将所述感光性聚硅氧烷组合物用于形成保护膜时，保护膜表现出良好的断面形状及耐热性。

主权项

一种感光性聚硅氧烷组合物，其特征在于，其包括：聚硅氧烷(A)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；含酰胺酸基的硅烷化合物(C)；以及溶剂(D)，其中所述聚硅氧烷(A)是由式(1)所示的化合物聚缩合来形成，Si(R¹)_W(OR²)_4‑W式(1)式(1)中，R¹各自独立表示氢原子、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至15的芳香基、含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基；R²各自独立表示氢原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基或碳数为6至15的芳香基；w表示选自0、1、2、3的整数。所述含酰胺酸基的硅烷化合物(C)是由式(2)来表示，式(2)中，R³及R^3’各自独立表示碳数为1至6的烷基、经取代的碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的烷氧基、经取代的碳数为1至6的烷氧基、苯基、经取代的苯基、苯氧基或经取代的苯氧基；R⁴及R^4’各自独立表示碳数为1至10的二价有机基；R⁵表示碳数为2至20的有机基。