基于宽谱光源干涉原理的高速振动测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于宽谱光源干涉原理的高速振动测量系统及方法，该高速振动测量系统包括：用于发出相干光的光源、用于将该相干光进行分束的光纤耦合器、用于根据分束后的第一光信号返回参考光的参考臂、用于根据分束后的第二光信号返回信号光的样品臂、以及用于对该参考光与信号光所形成的干涉信号进行解调的光谱解调器，其中，所述光谱解调器包括分光镜及二极管阵列，所述干涉信号经所述分光镜分光后，其中一部分反射至所述二极管阵列中用于样品振动参数的测量。该高速振动测量方法对应于该系统可以测量出样品振动参数。本发明的该高速振动测量系统及方法具有灵敏度高、精确度高等优点，尤其适用于精确地测量高速振动的样品的振动参数。

主权项

一种基于宽谱光源干涉原理的高速振动测量系统，包括：用于发出相干光的光源、用于将该相干光进行分束的光纤耦合器、用于根据分束后的第一光信号返回参考光的参考臂、用于根据分束后的第二光信号返回信号光的样品臂、以及用于对该参考光与信号光所形成的干涉信号进行解调的光谱解调器，其特征在于，所述光谱解调器包括分光镜及二极管阵列，所述干涉信号经所述分光镜分光后，其中一部分反射至所述二极管阵列中用于样品振动参数的测量。